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激光器及應用系統(tǒng)
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IMPRESS 213深紫外調Q固體激光器
IMPRESS系列是一款高重頻二極管泵浦調Q深紫外激光器,可以輸出波長213nm和224nm,TEMoo模激光器可以作為光學度量和微處理,比如:半導體加工和顯示修復。其短波長等屬性也使得這款激光器可以應用于光學直寫。該激光器可提供<9ns的超短脈沖,光束質量M2<1.6。通過RS232可實現(xiàn)電腦控制,也兼容其他觸發(fā)控制。
應用領域:
光纖布拉格光柵制作
波長敏感處理
立體光刻
顯示修復
微處理
半導體觀察
替代了Ar-Ion的倍頻激光
產品特點:
深紫外超短脈沖
二極管泵浦
槽安裝激光二極管
光學特性好
高脈沖功率
價格低
“綠色光子學"
7天24小時工作
產品參數(shù):
型號
IMPRESS 213
IMPRESS 224
波長,nm
213
224
平均功率,mW
150
300
脈沖寬度,ns
<7ns
<9ns
單脈沖能量,μJ
>15μJ
>30μJ
重復頻率,kHz
0.1-30kHz
M2
<1.6
所有的數(shù)據都是在重頻為15kHz的情況下測量獲得。
213nm激光器特性曲線&激光器光斑
224nm激光器特性曲線&激光器光斑
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